近几年来，单晶硅行业作为节约能源型的行业盛行，我公司为单晶硅行业的企业做配套冲洗用水设备。
单晶硅也称硅单晶，是电子信息材料中最基础性材料，属半导体材料类。单晶硅已渗透到国民经济和国防科技中各个领域，当今全球超过2000亿美元的电子通信半导体市场中95%以上的半导体器件及99%以上的集成电路用硅。
为满足用户需要，达到符合标准的水质，尽可能地减少各级的污染，延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量.在工艺设计上，取达国家自来水标准的水为源水，再设有介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、ro反渗透主机系统、离子交换混床(edi电除盐系统)系统等。
单晶硅冲洗用超纯水设备处理工艺
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→cedi系统→微孔过滤器→用水点。
进水水质要求
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tea(含co2 ) <25mg/lascaco3 |
ph 5－9 |
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硬度 < 0.1 mg/lascaco3 |
硅 <0.5mg/l |
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toc <0.5 mg/l |
余氯 <0.05mg/l |
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fe，mn，h2s <0.01 mg/l |
进水压 30－100psi |
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电导率 <40＜40μs/cm |
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超纯水设备技术参数
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型号 |
流量 |
产水电导率 |
edi堆尺寸(mm) |
电压 |
电流 |
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ltldi50 |
50l/h |
5-15mω |
270×600×180 |
80v |
1.8a |
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ltldi500 |
500l/h |
5-15mω |
260×600×280 |
120v |
2.0a |
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ltld1000 |
1000l/h |
5-15mω |
260×600×420 |
200v |
5.0a |
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ltld2000 |
2000l/h |
5-15mω |
360×600×440 |
250v |
6.0a |
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ltld6000 |
6000l/h |
5-15mω |
460×600×680 |
400v |
10.0a |
系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用plc可编程控制器，真正做到了无人职守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。
执行标准：严格执行现行的各种水处理标准，不断的在工艺设计和材料选择上进行改进，以满足现行的各种标准。