化工行业超纯水设备对进水要求较高，通常为单级反渗透或二级反渗透的渗透水。所以工艺流程通常有以下三种：
1、采用反渗透作预处理再配上电去离子装置，这是目前制取超纯水最先进，最环保的的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。
2、采用反渗透和离子交换设备，离子再生周期长，比较经济。
3、采用传统的离子交换树脂，优点在于投资少，占地面积小，缺点是需要经常进行离子再生，对环境有一定的破坏性。