电子工业制备超纯水设备的工艺大致分成以下3种：
1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
3、采用反渗透设备与电去离子（edi）设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子（edi）→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点
次套超纯水设备采用双极反渗透edi系统：原水—原水箱—原水泵—絮凝加药系统—石英砂过滤器—活性炭过滤器—软化器—阻垢加药系统—保安过滤器— 一级高压泵—中间水箱— ph调节— 二级高压泵— 二级反渗透— 纯水箱—edi增压泵—紫外线杀菌器—edi系统—超纯水箱—超纯水增压泵—精混合床—微孔过滤器—用水点
功能简介：
（1）石英砂过滤器：吸附水中的铁锈、泥砂、大颗粒杂质降低浊度以保证下级过滤的效果
（2）活性炭过滤器：吸附水中的胶体、有机物、漂白粉等有机溶剂，保证下级过滤效果
（3）软水器：除去水中的钙镁等离子，保证下级过滤效果，延长反渗透主机中膜组件的使用寿命
（4）反渗透主机：通过膜组件有效地去除水中的溶解盐类、胶体、微生物、有机物等，生产纯水
（5）edi：又称连续电除盐技术，是通过阳阴离子膜对阳阴离子的选择透过作用以及离子交换树脂对水中离子的交换作用，在电场的作用下实现水中离子的定向迁移，从而达到水的深度净化除盐，并通过水电解产生的氢离子和氢氧根离子对装填树脂进行连续再生。
（6）紫外线杀菌器：快速有效的杀灭各种细菌，病毒等微生物并降解水中氯化物
（7）精制混床：装置罗门哈斯抛光树脂，进一步提高水质（纯水经过dei后可达16兆，经过精混后可达18兆以上）
（8）0.2μm精密过滤器：高效能去除水、油雾、固体颗粒，100%去除0.01μｍ及以上颗粒、油雾浓度控制在0.01ppm/wt
应用行业
电子行业生产：如单晶硅、半导体、集成电路块、ic芯片封装、彩色显像管、玻壳、液晶显示器、印刷电路板等生产工艺所配套纯水、超纯水系统。