去离子水的工艺大致可分为四种：
第一种：采用阳阴离子交换树脂取得的去离子水，一般通过之后，出水电导率可降到10us/cm以下，再经过混床就可以达到1us/cm以下了。但是这种方法做出来的水成本极高，而且颗粒杂质太多，达不到理想的要求。已较少采用了。
第二种：预处理（即砂碳过滤器 精密过滤器） 反渗透 混床工艺
这种方法是目前采用最多的，因为反渗透投资成本也不算高，可以去除90%以上的水中离子，剩下的离子再通过混床交换除去，这样可使出水电导率：0.06左右。这样是目前最流行的方法。
第三种：采用两级反渗透方式
其流程如下：
自来水→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→一级反渗透→ph调节→混合器→二级反渗透（反渗透膜表面带正电荷）→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
第四种：前处理与第二种方法一样使用反渗透，只是后面使用的混床采用edi连续除盐膜块代替，这样就不用酸碱再生树脂，而是用电再生。这就彻底使整个过程无污染了，经过处理后的水质可达到：15m以上。但这这种方法的前期投资比较多，运行成本低。根据各公司的情况做适当的投资。最好不过了。 其流程如下：
原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→ph值调节系统→高效混合器→精密过滤器→高效反渗透→中间水箱→edi水泵→edi系统→微孔过滤器→用水点
1、工业超纯水处理工艺，是目前工业用超纯水的制备上应用最多的一种工艺之一。